最开始听说航空发动机是工业皇冠上的明珠,后来又有人说五轴联动机床是工业皇冠上的明珠,现在又说是光刻机是工业皇冠上的明珠,幸好圆珠笔芯的钢珠我们造出来了,不然这皇冠上到处是各种各样的珠子。
不过光刻机的含珠量还是挺高的。一台 EUV 光刻机重达 180 吨,超过 10 万个零件,需要 40 个集装箱运输,安装调试都要超过一年时间。
如此多的零件,一个国家想要完成,难度实在太大,但是作为一个有抱负的大国,我们除了攻克别无选择, 2008年项目就立项了。
这个项目是02专项——“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”的一部分,以建立自主的高端光刻技术和产业发展能力作为重大、核心的战略目标。
蛋总之前经常说,中国共产党的一大绝活就是极强的目标管理能力和极强的执行力。在目标管理这一块儿,极善于进行目标分解。
多大的困难,只要一分解,就会变成中困难;中困难再进行分解,就变成了小困难。然后各个单位围绕小困难展开竞争,各个击破。
光刻机也是,虽然系统很复杂,但是任务还是分了下去。其中很多配套项目,已经取得了突破性进展。