中国拼命购入EUV
早在1997年,英特尔看到挑战193nm的巨大难度,决心集合人类精英一起愚公移山,有点流浪地球的意思。他们说服了美国对高科技最开明的克林顿内阁,以公司形式发起了EUV LLC这样的一个合作组织。
这个组织由英特尔和美国能源部牵头,集合了当时还如日中天的摩托罗拉以及AMD,以及享有盛誉的美国三大国家实验室:劳伦斯利弗莫尔实验室,劳伦斯伯克利实验室和桑迪亚国家实验室,投资两亿美元集合几百位顶级科学家,从理论上验证EUV可能存在的技术问题。
英特尔还力邀ASML和尼康加入EUV LLC,因为当时美国光刻已经不太行了。但此举受到美国政府的阻挠,因为他们舍不得让外国公司分享美国最前沿技术。
最终结果是尼康被排除在外,ASML做了一堆对美国贡献的许诺后被允许加入。我们回看当年各种跨越193nm的技术方案,很多公司是左右下注的,只有英特尔坚定地选了EUV,而且让它最终成为了现实。
这里荷兰的ASML公司,是受了美国人的大恩,以至于到今天还没有还完。