2007年，ASMLZ在荷兰发布第一台研发用样机NXE3100，看见成果的英特尔三星台积电纷纷掏钱押注。
2015年，首台量产型EUV光刻机亮相，来自全球各地的数百亿订单蜂拥而至。
2018年，ASML正式向台积电交付用于商业运营的EUV光刻机。
2019年，EUV光刻机开始大规模量产芯片。
2020年，搭载由EUV光刻机加工的5nm芯片手机在全球范围内销售。
而在ASML春风得意的马蹄下，是日本光刻机产业的溃不成军。截至去年，ASML垄断了高端光刻机的全部市场，中端领域也是当之无愧的霸主，而给日本留下的中低端市场不足10%。
光刻机的Japan时代从此落下帷幕！
当然，即便EUV联盟没有把尼康排除在外，日本也未必干得过ASML。
七十年代的光刻机跟EUV光刻机的区别，就像是火铳跟导弹的区别，生产难度是不可同日而语的。
EUV光刻机是一种集合了光学、流体动力学、力学、数学、高分子物理学与化学、表面物理与化学、精密仪器、机械、自动化、软件、图像识别为一体的顶尖技术产物。一台EUV光刻机重180吨，供应链零部件超过10万个，需要从美欧四十多个国家采购。
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