幸运的是,身处绝路的台积电和ASML赌赢了!
2004年,台积电与ASML联合研制出全球第一台浸入式光刻机,尼康紧随其后在次年推出157nm的干式微影光刻机。
但问题是尼康的干式微影光刻机是全新产品,采购成本高,技术还不是特别的成熟,厂商买回去后,要经过多道工序的磨合才可以量产。而浸入式光刻机属于小改,设备仍是原来193nm波长的设备,技术成熟度高不说,采购成本和生产成本也很低,稍做调试就能大规模量产。最关键的是,波长做得比尼康更好更短。
直到今天,被视为高端制程的7nm芯片如苹果的A12与华为的麒麟980,仍然用的是193nm浸入式光刻机。
没有丝毫的意外,浸入式光刻机一经推出,英特尔、IBM、ADM等IC制造厂商们趋之若鹜,纷纷抛弃尼康,拥入ASML的怀抱。
此役,ASML和台积电一战封神:
一个成为全球最大的光刻机供应商,一个成为全球最大的半导体代工商!
但半导体厂商们相爱相杀的故事并没有就此结束...
2004年后,ASML份额全面超越尼康,问鼎世界之巅
日本光刻机产业真正覆灭的根源,要追溯到25年前那场多方密谋。