先从一段激荡的风云往事说起...
上个世纪八九十年代,是日本半导体制造业的鎏金岁月,一如太平洋战争初期的形势那般,印刻着Made in Japan的半导体把美军打得节节败退。在最巅峰的时期,日本控制了世界70%的半导体出货量,全球五大半导体厂商中,有四家是日本企业。而开启信息化时代的美国只有一家,以及只剩下不到30%的市场份额。
支撑日本半导体制造业无限风光的是在上游雕刻芯片的光刻机。
1984年,尼康推出量产型自动化步进式光刻机Stepper NSR-1010G,凭借着良好的性能,日企在光刻机市场的规模首次超越美国,不论是老牌巨头GCA抑或是有军方支持的Perkin Elme,都被打得毫无还手之力,到90年代,尼康与佳能携手已占据全球80%的光刻机市场。
而在同年成立,后来执掌中高端芯片制造生杀大权的荷兰ASML,彼时还苦苦挣扎于一无资金二市场三无成果的存亡边缘。
1984年,刚从飞利浦剥离而出的ASML,在飞利浦大厦外搭板房做办公地点从光刻机到芯片制造,日本半导体产业成功的秘诀有两点。
一是近水楼台先得月的优势:光刻机刚出来那会儿,技术难度并不高,本质上与投影仪加照相机没啥区别,把设计好的电路图雕刻进硅片就成,无非是精度要高一些。
尼康自1917年成立起,就长期从事相机和显微镜等光学设备的研产,是日本科学界和军方重要的光学设备供应商。佳能稍微晚点,抗日战争全面爆发那一年才成立,同样也是搞相机起步。
1960年,尼康和佳能一道打入美国先进光刻机制造商GCA的供应链,当时主要是提供光学镜头。这两家公司在给GCA做配套的过程中,学习到不少光刻机生产工艺和技术。