此外，因为更加缩小晶体管，意味着可以在相同的硅片上生产比早期更庞大的工艺以及更复杂的芯片，在晶圆上安装的模具越多，晶圆本身的每芯片成本就越低。
除此之外使用较少材料的较小工艺意味着与旧工艺相比，耗电量减少。
除了设计工艺，还需要有制造工艺，这就需要打造芯片的特殊仪器——光刻机。
顶级的光刻机只有极少数公司有制造能力，其中最尖端的代表就是荷兰的ASML公司，几乎垄断了整个光刻机产业，而一台顶级的EUV光刻机的售价高达1亿多美元。
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