有人这样形容光刻机:这是一种集合了数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、机械、自动化、软件、图像识别领域顶尖技术的产物。
看看这个知乎提问,可以感受一下:
说白了,这玩意儿的工作原理就是用“紫外线”作刀,对晶圆进行雕刻,让芯片上的电路变成人们想要的图案。四个字形容:“硅上雕花”,跟扬州修脚的“肉上雕花”一个意思。
有人或许要问,光刻工艺过程是什么样的?
这么说吧,光刻过程,是非常复杂的,涉及到无数高精尖的零件,和多个学科的技术。
第一步:铺胶 ,涉及流体力学、表面物理和化学。
第二步,量测,涉及光学、数学等学科。
第三部,曝光 ,涉及 光学、数学、高分子物理与化学、表面物理与化学等。