全球第一台!分辨力最高!七年磨一剑,中国自主研发的紫外超分辨光刻机,终于来了!
前不久,北京传来大消息:中国科学院成功研制出了世界首台分辨力最高紫外超分辨光刻机,其光刻分辨力达到22纳米,结合多重曝光技术后,可用于制造10纳米级别的芯片。
你没有看错,不是引进,不是模仿,而是自主研发、世界首台。
消息一出,科技圈炸了!要知道,该光刻机使用365nm的光源,单次曝光做到22纳米!
22纳米是什么概念呢?中科院的文章中提到了一个对比:头发的直径约为80微米,22纳米是头发直径的1/3600。也就是说,这个光刻机能够在头发表面加工各种复杂的结构。
而使用365nm的光源,则相当于我们用很粗的刀,刻出一条很细的线,打破了传统的衍射极限!
那么,这台光刻机与大名鼎鼎ASML荷兰光刻机对比怎么样呢?